ASML请求用于图画化进程功能确认的办法和设备专利可确认图画化进程的功能
金融界2025年8月13日音讯，国家知识产权局信息数据显现，ASML荷兰有限公司请求一项名为“用于图画化进程功能确认的办法和设备”的专利，公开号CN120476348A，请求日期为2024年01月。
专利摘要显现，一种用于确认图画化进程的功能的办法，该办法有：接纳衬底的一部分的图画，衬底的该部分包含榜首区域和至少第二区域，榜首区域包含与榜首图画化进程相关联的榜首特征，第二区域包含与第二图画化进程相关联的第二特征，其间，榜首特征和第二特征在被辐射照耀时构成莫尔图画，以及根据莫尔图画的特性确认图画化进程的功能。
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